我们在Corning? EAGLEXG?的薄型玻璃衬底上沉积了具有理想配比的高透明导电纳米晶体氧化锡涂层。每种涂层都通过超声波喷雾热解（USP）技术将不同浓度的气溶胶溶液沉积在衬底上，衬底温度保持在623.15 K。氮气除了被用作气溶胶导向气体外，还用作溶液载体，其流速分别保持在3500.0 mL/min和500.0 mL/min。氧化锡涂层为多晶，无论喷雾溶液的摩尔浓度如何，涂层最易沿氧化锡（112）面生长。气溶胶溶液浓度为0.2 M时制备的涂层在可见光波段的平均透射率为60%，最大电导率为24.86 S/cm。根据激子和氧空位缺陷能级发光强度计算，沉积涂层的光致发光集中在绿色、绿白色和蓝白色等波段。

图1. USP 用于氧化锡涂层沉积过程的实验方法图示。

Transparent conductive stannic oxide coatings employing an ultrasonic spray pyrolysis technique: The relevance of the molarity content in the aerosol solution for improvement the electrical properties

L. Casta?eda

J. Semicond. 2022, 43(2): 022802.

doi: 10.1088/1674-4926/43/2/022802.

Full Text: http://www.jos.ac.cn/article/doi/10.1088/1674-4926/43/2/022802%20?pageType=en

来源：半导体学报公众号