微波光子系统小型化、集成化的发展趋势，带来了对小型化光发射模块的迫切需求。铌酸锂调制器由于具有高带宽、高消光比、高稳定性等优异性能被广泛应用于高性能微波光子链路，因此，研究激光器芯片与铌酸锂调制器芯片的混合集成技术就成为一个具有实用价值的研究方向。

近日，中国科学院半导体研究所微波光子课题组刘宇研究员等联合北京世维通公司通过采用自研高带宽铌酸锂调制器芯片与DFB激光器芯片实现了一款异质芯片混合集成光发射模块。模块消光比大于34 dB、带宽超过20 GHz、无杂散动态范围达到112 dB·Hz2/3, 性能指标与分立器件组成的外调链路相当，有望替代现有系统中的分立器件，促进微波光子系统的小型化。

该文章以题为“Optical transmitter module with hybrid integration of DFB laser diode and proton-exchanged LiNbO3 modulator chip”发表在Journal of Semiconductors上。

图1. 混合集成光发射模块样品。

Optical transmitter module with hybrid integration of DFB laser diode and proton-exchanged LiNbO3 modulator chip

Xuyang Wang, He Jia, Junhui Li, Yumei Guo, Yu Liu

J. Semicond. 2022, 43(6): 062303 doi: 10.1088/1674-4926/43/6/062303

Full Text: http://www.jos.ac.cn/en/article/doi/10.1088/1674-4926/43/6/062303

来源：半导体学报2022年第6期-中文导读