历任领导
半导体研究所第一任领导班子（1960—1962）
宋之春 所 长
宋之春 党委书记
杨刚毅 党委书记
刘再生 党委书记
方 明 副所长
王守武 副所长
杨刚毅 副所长
王 微 党委副书记
半导体研究所第二任领导班子（1962—1977）
刘再生 所 长
刘再生 党委书记
陈致中 党委书记
宋 政 党委书记
刘大明 党委书记
方 明 副所长
王守武 副所长
杨刚毅 副所长
施奠成 副所长
王 微 党委副书记
苏 伊 党委副书记
半导体研究所第三任领导班子（1977—1983）
黄 昆 所 长
张方海 党委书记
冯文耀 党委书记
刘大明 副所长
王守武 副所长
林兰英 副所长
王 峰 副所长
王守觉 副所长
刘再生 副所长
施奠成 副所长
刘大明 党委副书记
范 博 党委副书记
刘再生 党委副书记
李维学 党委副书记
半导体研究所第四任领导班子（1983—1985）
王守觉 所 长
李维学 党委书记
朱成大 副所长
王启明 副所长
冯鸿丙 党委副书记
半导体研究所第五任领导班子（1985—1990）
王启明 所 长
李维学 党委书记
冯鸿丙 副所长
朱成大 副所长
吴保义 副所长
葛惟昆 副所长
林梅梅 副所长
李致洁 副所长
冯鸿丙(兼) 党委副书记
谢志国 党委副书记
半导体研究所第六任领导班子（1990—1994）
王启明 所 长
李维学 党委书记
李玉璋 副所长
吴保义 副所长
郑 东 副所长
王占国 副所长
陈良惠 副所长
王大华 副所长
谢志国 党委副书记
半导体研究所第七任领导班子（1994—1999）
郑厚植 所 长
李维学 党委书记
周炳坤(兼) 副所长
陆建祖 副所长
王大华 副所长
封松林 副所长
郭凤云 党委副书记
半导体研究所第八任领导班子（1999—2002）
郑厚植 所 长
贾 航 党委书记
封松林 副所长
贾 航(兼) 副所长
肖建伟 副所长
赵柏秦 副所长
王大华 副所长
陈树堂 党委副书记
半导体研究所第九任领导班子（2002—2006）
李晋闽 所 长
陈树堂 党委书记
杨 辉 副所长
陈树堂(兼) 副所长
俞育德 副所长
陈树堂 党委副书记
半导体研究所第十任领导班子（2006-2011）
李晋闽 所 长
陈树堂 党委书记
陈树堂(兼) 副所长
俞育德 副所长
陈弘达 副所长
李树深 副所长
李树深 党委副书记
张春先 党委副书记
半导体研究所第十一任领导班子（2012-2017.4）
李树深 所 长
李树深 党委书记
张春先 党委书记
陈弘达 副所长
祝宁华 副所长
张春先 副所长
杨富华 副所长
张春先 党委副书记
冯仁国 党委副书记、纪委书记
半导体研究所第十二任领导班子（2017.4-至今）
李树深 所 长（2017.4-2018.4）
祝宁华 副所长（法定代表人）（2018.5-2019.7）
谭平恒 副所长（主持工作）（2019.7-至今）
冯仁国 党委书记（2017.6-至今）
冯仁国 党委副书记（2017.4-6-2017.6）
樊志军 党委副书记、纪委书记（2017.6-至今）
祝宁华 副所长（2017.4-2018.5）
杨富华 副所长（2017.4-至今）
冯仁国 副所长（2017.4-至今）
谭平恒 副所长（2018.5-2019.7）
张 韵 副所长（2019.12-至今）
