我所两项院仪器设备研制项目顺利通过验收----中国科学院半导体研究所

我所07年立项的院重大科研装备研制项目“40Gbit/s光电子和微电子器件大信号测试系统研制”和“大面积/多片高温碳化硅化学气相沉积系统”于2009年12月15日顺利通过由院计财局组织的项目验收。

　　验收组先后听取了课题组所做的设备研制报告和使用报告，并审查了测试报告和经费使用情况，对所做设备给予了高度的评价。

　　院重大仪器设备研制项目旨在提高我院科研装备的自主创新能力，推动我院技术支撑系统和人才队伍建设，促进原始性科技创新成果的产出。我所此次通过验收的两台设备在一定程度上提升了我所的仪器设备自主研发能力，具有很好的示范带动效应。