SUSS匀胶机

烘箱和热板

MA6亚微米光刻设备
德国Suss Microtec公司MA6/BA6双面光刻机。主要技术指标：
基片双面对准(包括键合预对准)；
基片尺寸：10′10mm2~F100mm；
光源波长：435nm和365nm；
套刻精度：<1mm；
光源均匀性：<5%
四种曝光方式(接近、软接触、硬接触、真空复印)

SUSS显影机

去胶设备