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电子束光刻设备
2009-09-15 | 【大 中 小】

Raith150电子束光刻设备

德国Raith公司的Raith 150-Turnkey 直写式电子束曝光机主要技术指标：
SEM分辨率：2nm；最小线宽：50nm；拼接精度：20 nm.
 

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