电子束蒸发台

美国Denton公司Explorer 14 。主要技术指标：
每一次工艺可以蒸发四种不同金属材料；
Lift-off工艺一次可以蒸镀18片2"圆片；
Step-coverage工艺一次可以蒸镀36片2"圆片；
工艺的均匀性和重复性±5％；

电子束蒸发台

金属热蒸发台

金属热蒸发台

金属热蒸发台