科研设备----中国科学院半导体研究所

科研设备

·多功能磁控溅射系统	(2009-09-14)
·双腔室PECVD/电子束蒸发镀膜设备	(2009-09-14)
·甚高频等离子体增强化学沉积系统（VHF-PECVD system ）	(2009-09-14)
·MOCVD设备（ZnO专用）	(2009-09-14)
·MOCVDMOCVD系统（自行研制）	(2009-09-14)
·AIX 200 MOCVD系统	(2009-09-14)
·离子束沉积-等离子体刻蚀系统	(2009-09-14)
·傅里叶变换红外光谱仪	(2009-09-14)
·EPI GEN Ⅱ分子束外延设备	(2009-09-14)
·RIBER 32P分子束外延系统	(2009-09-14)
·高频小信号测试系统	(2009-09-14)
·高频大信号测试系统	(2009-09-14)
·JY公司微区PL谱测试系统	(2009-09-14)
·UHV-CVD生长系统	(2009-09-14)
·双生长室UHV-CVD系统	(2009-09-14)
·用于GaN材料生长的MOCVD系统	(2009-09-14)
·光刻机、合金炉、台阶仪、多功能探针	(2009-09-14)
·百级光刻间、万级工艺间	(2009-09-14)
·1微米的半导体量子器件工艺条件	(2009-09-14)
·压力光谱测量系统	(2009-09-14)

专题